近年來干式真空泵市場(chǎng)需求量非常大,螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,

抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn)。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)真空獲得設(shè)備，

日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場(chǎng)。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、

變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究.

源于螺桿壓縮機(jī)的多頭轉(zhuǎn)子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機(jī)的轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把

4－6頭螺桿轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上，韓國LG公司的真空泵目前也使用多頭轉(zhuǎn)子型線，由于兩嚙合轉(zhuǎn)子接觸線的頂點(diǎn)不能達(dá)到陰、

陽轉(zhuǎn)子氣缸孔的交線，在接觸線頂點(diǎn)和機(jī)殼的轉(zhuǎn)子氣缸孔之間，會(huì)形成一個(gè)空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力

較高的齒間容積，泄漏至壓力較低的鄰近齒間容積，由于這個(gè)泄漏三角形的存在，導(dǎo)致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低，

加上這類轉(zhuǎn)子加工難度大，需要專用機(jī)床，造價(jià)昂貴，因而逐步退出螺桿真空泵市場(chǎng)。為適應(yīng)市場(chǎng)需求，各公司開始開發(fā)單頭等

螺距轉(zhuǎn)子型線.

臺(tái)灣中正大學(xué)的馮展華教授與HANBELL漢鐘精機(jī)合作，研發(fā)螺桿真空泵，并于2004年申請(qǐng)了專利。去年在爪式真空泵的

基礎(chǔ)上，提出了螺桿爪式型線，給出了螺桿轉(zhuǎn)子端面型線的構(gòu)成，并與一般形式的螺桿真空泵型線進(jìn)行了對(duì)比,增加了對(duì)極限真空的

穩(wěn)定性。這種型線主要在軸向泄漏(透孔)方面進(jìn)行了改進(jìn),使得改進(jìn)后透孔面積大大減小,真空度可以明顯提高，也成為了國內(nèi)品牌的.

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