晶圓的探針臺測試，需要將將檢測的晶圓片固定在測試平臺上，通過探針來檢測晶圓的品質(zhì)性能，晶圓的固定在平臺上是通過真空的吸附。探針臺的真空吸附的真空度在-50kpa以上，對于真空要求不是很高，但是之前一對一的配泵會對測試車間的產(chǎn)生很大的噪音影響，所以目前是針對機(jī)臺進(jìn)行系統(tǒng)真空的供應(yīng)，通過管道將真空送到每個(gè)機(jī)臺，進(jìn)行晶圓的真空吸附，系統(tǒng)真空不會影響車間環(huán)境，另外比一對一的配泵更加節(jié)能，運(yùn)行成本更低。

                                                                                          昆山帕斯卡真空技術(shù)有限公司

                                                                                                2017年12月10日