實(shí)驗(yàn)室行業(yè)的真空應(yīng)用（二）：

掃描電鏡的真空應(yīng)用，飛雅、日立、日本電子、蔡司都是我們常見(jiàn)的掃描電鏡的品牌，掃描電鏡被廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。掃描電鏡也是借助高真空系統(tǒng)。電鏡的高真空系統(tǒng)是有分子泵和前級(jí)泵組成，分子泵一般采用脂潤(rùn)滑或磁懸浮的分子泵，前級(jí)泵是采用雙級(jí)油旋片真空泵，或無(wú)油渦旋泵作為前級(jí)泵。前級(jí)泵是輔助分子泵運(yùn)行的，前級(jí)泵先將腔體抽到10pa以后再啟動(dòng)分子泵。分子泵啟動(dòng)后再將系統(tǒng)抽到-3pa~-4pa左右。

                                                                               昆山帕斯卡真空技術(shù)有限公司

                                                                                     2018年1月14日