漢鐘干式螺桿泵之PECVD應(yīng)用

由于目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)制造企業(yè)在半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)、技術(shù)不夠成熟、過(guò)于依賴國(guó)外的設(shè)備及技術(shù)且設(shè)備及技術(shù)被國(guó)外公司壟斷卡死。

因此半導(dǎo)體行業(yè)成為國(guó)家的重點(diǎn)改造及大力扶持的重中之重。針對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備提出嚴(yán)格要求。

《中國(guó)制造2025》對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化提出了明確要求：在2020年之前，90~32納米工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到50%，實(shí)現(xiàn)90納米光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化，封測(cè)關(guān)鍵設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到50%。在2025年之前，20～14納米工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到30%，實(shí)現(xiàn)浸沒(méi)式光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化。到2030年，實(shí)現(xiàn)18英寸工藝設(shè)備、EUV光刻機(jī)、封測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化。

半導(dǎo)體的制造從硅砂至成品、很多工藝需要使用真空、由于國(guó)內(nèi)真空設(shè)備起步較德國(guó)、美國(guó)、日本等較晚、很多技術(shù)達(dá)不到要求、不得不選用進(jìn)口泵。

漢鐘精機(jī)經(jīng)過(guò)多年來(lái)的摸爬滾打、在真空領(lǐng)域已然站穩(wěn)腳步、在化工醫(yī)藥、光伏、半導(dǎo)體及鋰電等行業(yè)的認(rèn)可及口碑。漢鐘的生產(chǎn)技術(shù)工藝已然達(dá)到國(guó)際水準(zhǔn)、箭頭直指國(guó)外各品牌。

響應(yīng)國(guó)家號(hào)召、漢鐘螺桿真空泵成為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備替換首先品牌。

近年來(lái)國(guó)內(nèi)很多企業(yè)PECVD設(shè)備上采用漢鐘螺桿真空泵、感謝中國(guó)電子科技集團(tuán)四十八所、天合光能股份有限公司、臺(tái)灣茂迪股份有限公司等等企業(yè)對(duì)漢鐘的認(rèn)可及支持。

漢鐘品質(zhì)、值得信賴。

漢鐘干式螺桿泵之PECVD應(yīng)用

由于目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)制造企業(yè)在半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)、技術(shù)不夠成熟、過(guò)于依賴國(guó)外的設(shè)備及技術(shù)且設(shè)備及技術(shù)被國(guó)外公司壟斷卡死。

因此半導(dǎo)體行業(yè)成為國(guó)家的重點(diǎn)改造及大力扶持的重中之重。針對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備提出嚴(yán)格要求。

《中國(guó)制造2025》對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化提出了明確要求：在2020年之前，90~32納米工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到50%，實(shí)現(xiàn)90納米光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化，封測(cè)關(guān)鍵設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到50%。在2025年之前，20～14納米工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到30%，實(shí)現(xiàn)浸沒(méi)式光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化。到2030年，實(shí)現(xiàn)18英寸工藝設(shè)備、EUV光刻機(jī)、封測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化。

半導(dǎo)體的制造從硅砂至成品、很多工藝需要使用真空、由于國(guó)內(nèi)真空設(shè)備起步較德國(guó)、美國(guó)、日本等較晚、很多技術(shù)達(dá)不到要求、不得不選用進(jìn)口泵。

漢鐘精機(jī)經(jīng)過(guò)多年來(lái)的摸爬滾打、在真空領(lǐng)域已然站穩(wěn)腳步、在化工醫(yī)藥、光伏、半導(dǎo)體及鋰電等行業(yè)的認(rèn)可及口碑。漢鐘的生產(chǎn)技術(shù)工藝已然達(dá)到國(guó)際水準(zhǔn)、箭頭直指國(guó)外各品牌。

響應(yīng)國(guó)家號(hào)召、漢鐘螺桿真空泵成為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備替換首先品牌。

近年來(lái)國(guó)內(nèi)很多企業(yè)PECVD設(shè)備上采用漢鐘螺桿真空泵、感謝中國(guó)電子科技集團(tuán)四十八所、天合光能股份有限公司、臺(tái)灣茂迪股份有限公司等等企業(yè)對(duì)漢鐘的認(rèn)可及支持。

漢鐘品質(zhì)、值得信賴。