真空系統(tǒng)組成簡介

真空系統(tǒng)多種多樣,但基本構(gòu)成大致相同。了解真空系統(tǒng)的基本構(gòu)成,不僅有助于設備操作,對于自己組裝真空系統(tǒng)也有極大的參考性。

   最單純的例子

    圖A是最簡單的例子。真空系統(tǒng)的壓力比周圍的大氣壓低,因此必須要有一個密封的容器。這個容器被稱為真空腔。要使真空腔內(nèi)成為真空狀態(tài),必須使用排氣泵來排氣。因此真空腔和排氣泵即成為最單純的真空設備例子。

    利用轉(zhuǎn)輪泵的例子

    圖B是使用轉(zhuǎn)輪泵時真空設備的例子。為了知道真空腔內(nèi)的壓力,在真空腔上安裝一個真空計(Vacuum Gauge)。為了在排氣泵停止時也能保持真空腔內(nèi)的壓力,在排氣泵和真空腔之間設置一個閥門。真空腔的蓋子受內(nèi)外壓力差被緊緊吸在真空腔上。因此要打開蓋子時首先要通過放氣閥門往真空腔內(nèi)導入氣體,以使內(nèi)外壓力均等。同時為了防止轉(zhuǎn)輪泵的油倒流,轉(zhuǎn)輪泵停止時在吸氣口一側(cè)要開放成大氣壓狀態(tài)。為此,在吸氣口附近也需要一個放氣閥門。

    利用分子泵(TMP)的例子

    要達到10-6Pa的真空度時,設備的構(gòu)成為圖C所示。分子泵TMP不能在大氣壓狀態(tài)中運行。因此要和轉(zhuǎn)輪泵結(jié)合進行兩個階段的排氣。首先由RP 泵從大氣壓狀態(tài)到10Pa左右進行第一階段排氣,此時的真空度有Pirani(皮喇尼)真空計確認。保持RP泵的運行狀態(tài)然后再啟動TMP,真空泵的壓力由在真空狀態(tài)下可以使用的電離真空計來監(jiān)控。