昆山帕斯卡真空技術(shù)經(jīng)過多年的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)累積、可為您提供各種定制高真空系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)。

由擴(kuò)散泵串聯(lián)擴(kuò)散泵(中間泵)，再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。如圖，是一個(gè)超高真空系統(tǒng)和設(shè)備的結(jié)構(gòu)圖。主泵是一個(gè)水銀擴(kuò)散泵，泵頂有冷卻擋板和液氮冷阱，中間泵也是水銀擴(kuò)散泵。在中間泵和前級(jí)機(jī)械泵之間設(shè)有油蒸氣捕集器。并設(shè)有各種單獨(dú)的加熱器，烘烤真空室和主泵頂部及捕集器。該系統(tǒng)的特點(diǎn)是能獲得超高真空，并能穩(wěn)定工作。