在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿(mǎn)足工藝要求，同時(shí)又能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行，延長(zhǎng)真空泵維修維保時(shí)間，節(jié)約運(yùn)行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會(huì)通入各種各樣的工藝氣體來(lái)完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過(guò)程中有時(shí)會(huì)大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時(shí)排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時(shí)就會(huì)造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時(shí)下機(jī)保養(yǎng)和維護(hù)，否則的話(huà)就會(huì)造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴，選擇一臺(tái)耐粉塵，維保周期長(zhǎng)的真空泵是非常重要的。

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