真空腔室

    真空室是真空設(shè)備的主要部件之一，真空設(shè)備的生產(chǎn)工藝過程都是在真空腔室內(nèi)進(jìn)行完成的，真空腔室中裝有不同的部件，可以完成各種不同的工藝要求，大多數(shù)真空室都是由腔體、封頭、門、冷卻水套、閥門、管道等組成。

根據(jù)使用要求腔體可由筒形、圓錐形、盒型等形狀。

真空腔體對(duì)材料的要求需要滿足可焊性好、氣密性好，對(duì)于真空度要求不高的真空室一般采用低碳鋼、合金鋼、鋁材合銅材等。對(duì)于真空度較高的腔室一般采用不銹鋼。

下圖為對(duì)各類材料適用真空度參考表：