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真空撿漏
真空系統(tǒng)、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機(jī)械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷,外部大氣通過(guò)這些缺陷進(jìn)入系統(tǒng)內(nèi)部,致使系統(tǒng)、容器或器件達(dá)不到預(yù)期的真空度,這種現(xiàn)象稱為漏氣。造成漏氣的缺陷稱為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復(fù)雜,無(wú)法用幾何尺寸表示,因此在真空技術(shù)中用漏率來(lái)表示漏孔的大小。漏率是指單位時(shí)間內(nèi)漏入系統(tǒng)的氣體量,其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。
1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)
真空檢漏技術(shù)就是用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術(shù),相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過(guò)程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置,以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。
撿漏分類:
1. 氦質(zhì)譜檢漏方法
2. 真空計(jì)檢漏
3. 放電管檢漏
4. 高頻火花檢漏
5. 熒光檢漏
6. 氨敏紙檢漏
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