真空材料-真空腔體材料

隨著真空應(yīng)用越來越廣泛，真空腔體在制作時對材料的有一定特殊要求，主要要求如下：

1、一定的機(jī)械強(qiáng)度；

2、氣密性好，不應(yīng)是多孔結(jié)構(gòu)，不能有裂縫、小孔以及能造成漏氣的其它缺陷；

3、較低的出氣速率和滲透速率；

4、在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸汽壓要足夠低；

5、化學(xué)穩(wěn)定性好，不易氧化和腐蝕，不與系統(tǒng)中的工作介質(zhì)起化學(xué)反應(yīng)；

6、溫度穩(wěn)定性好，在一定的溫度范圍內(nèi)能保持其真空性能及機(jī)械強(qiáng)度；

7、加工容易，有較好的焊接性能，加工方便、價格便宜；

常用客體材料有兩大類:金屬和玻璃。

金屬的優(yōu)點是機(jī)械強(qiáng)度高：容易實現(xiàn)高精度的加工。

玻璃的優(yōu)點是：透明，便于觀察設(shè)備內(nèi)部情況；電絕緣；可對內(nèi)部的金屬零件用高頻加熱的方法除氣；能用高頻火花搶撿漏；加工方便等。玻璃的缺點是質(zhì)脆易碎。

附金屬的物理性能表供選型參考：