無(wú)油渦旋真空泵的特點(diǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域

清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開(kāi)始,人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果.時(shí)至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到油泵、螺桿泵、活塞泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無(wú)油真空泵當(dāng)中,無(wú)油渦旋真空泵與其他種類的無(wú)油真空泵相比具有下述特點(diǎn):

  ①.無(wú)油，無(wú)摩擦——真空腔內(nèi)無(wú)油，非接觸，無(wú)磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；

  ②.抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；

  ③.抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低；

  ④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動(dòng)小；

  ⑤.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；

  ⑥.體積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；

  ⑦.采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。

  目前無(wú)油渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?/span>:

  ①.半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；

  ②.科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；

  ③.機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備；

  ④.化學(xué)工業(yè)；

  ⑤．醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；

  ⑥．包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。