真空計(jì)的分類和適用量程

壓力測量中，除極少數(shù)直接測量外，絕大多數(shù)是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后再測量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量，進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。這是真空測量的特點(diǎn)，亦會(huì)造成某些問題。

  1、真空計(jì)是測量低于一個(gè)大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。

  2、絕對真空計(jì)是從真空計(jì)本身測得的物理量直接計(jì)算出(或得出)壓力的儀器。

  3、相對真空計(jì)則是必須經(jīng)過絕對真空計(jì)的校準(zhǔn)之后才能進(jìn)行真空度的測量。

  任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系，都是在某一壓力范圍內(nèi)才最顯著，超出這個(gè)范圍，關(guān)系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個(gè)范圍就是真空計(jì)的“量程”。盡可能擴(kuò)展每一種方法的量程，是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達(dá)19個(gè)數(shù)級(105～10-14 Pa)，沒有任何一種真空計(jì)能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種真空計(jì)分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計(jì)在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。由上觀之，為改善真空計(jì)性能及提高真空測量準(zhǔn)確度，必須突出主要現(xiàn)象，抑制寄生現(xiàn)象。表1給出一些真空計(jì)的壓力測量范圍。

  在較高壓力時(shí)(105～1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)，薄膜計(jì)，彈簧管壓力計(jì)等。 在103～10-2 Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。在低壓力時(shí)，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計(jì)。

真空計(jì)的適用壓力范圍

真空計(jì)的名稱 可測的壓力范圍(Pa)

水銀壓力計(jì)(U型管) 10^5～10^2

油壓力計(jì)(U型管) 10^5～10^2

油壓力計(jì)(U型管) 3*10^3～1

麥克勞真空計(jì)(一般型和特殊型)10^3～10^-3

彈性變形真空計(jì) 10^5～10^2

隔膜真空計(jì)(機(jī)械式) 10^5～10^2

隔膜真空計(jì)(電氣式) 10^5～10^-3

電離真空計(jì)(三極管型) 10^-1～10^-5

超高真空用B-A型 10^-2～1^-6

極高真空用熱陰極磁控計(jì) 10^-5～10^-10

高真空用(舒爾茨型) 10～10^-2

冷陰極真空計(jì) 1～10^-5

皮拉尼真空計(jì) 10^4～10^-2

熱電偶真空計(jì) 10^2～10^-1

熱敏電阻真空計(jì) 10^2～10^-1

粘性真空計(jì) 1～10^-5

克努曾真空計(jì) 10^-1～10^5