低溫泵

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。

低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種。

低溫泵的優(yōu)點(diǎn)：

(1) 低溫泵在獲取潔凈和無油真空方面，具有其他產(chǎn)品無法相比的優(yōu)勢(shì)。

(2)低溫泵在抽除水蒸汽和其他潮濕混合氣方面具有較大抽速；

(3)低溫泵在抽取輕重量分子方面也具有較大抽速；

(4)在要求大抽速的真空設(shè)備中，低溫泵是最經(jīng)濟(jì)的。

(5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的，不需要其他電子材料，不會(huì)有波動(dòng)；

(6)在真空中無任何運(yùn)動(dòng)部件，高穩(wěn)定性，也不會(huì)帶來密封問題；

(7)低溫泵的安裝無任何方向要求；

(8)低溫泵還可以進(jìn)行選擇性的抽取某種氣體。