真空退火爐的應(yīng)用真空泵

真空退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域有離子注入/接觸退火；快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同氣體氛圍環(huán)境下使用；SiAu, SiAl, SiMo合金化；低介電材料；晶體化，致密化；太陽能電池片鍵合；電阻燒結(jié)其他熱工藝需求等等...

快速真空退火爐的系統(tǒng)組成：

主要由爐體、爐膽、爐蓋及抽真空裝置和溫控系統(tǒng)組成。

推薦真空泵：巖田ISP系列渦旋真空泵。其特點是高能效/環(huán)保/高可靠性/節(jié)能等等優(yōu)點。

                      昆山帕斯卡真空技術(shù)有限公司

                                         制作人：李韋來

                                         日期：2021/1/24