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MOCVD-金屬有機化合物氣相沉積,作為LED行業(yè)的頂端設(shè)備,技術(shù)含量高,專業(yè)密集技術(shù)設(shè)備,核心技術(shù)被veeco和aixtron所掌握,市場自然而然的德國和美國這兩家公司所占據(jù)了大部分。隨著國內(nèi)LED的大力發(fā)展,對MOCVD設(shè)備的需求量也在上升,購買進口設(shè)備價格昂貴。所以國內(nèi)的高端設(shè)備商開始研發(fā)和生產(chǎn)MOCVD設(shè)備,以打破國外的壟斷,中微和中晟是2家代表企業(yè),其中中微半導體的MOCVD的交付量已突破100臺。
昆山帕斯卡真空技術(shù)有限公司
2017年11月26日