國產(chǎn)設(shè)備與國際先進(jìn)技術(shù)水平的差距大幅縮短至2-3年。

在北京、上海、沈陽形成了裝備的骨干企業(yè)，部分企業(yè)形成超過十年的研發(fā)積累。

客戶的接受度在增強(qiáng)，部分國產(chǎn)12英寸設(shè)備在生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用。

常州瑞擇微電子的光照清洗設(shè)備在12英寸生產(chǎn)線上應(yīng)用，工藝從濕法向干法轉(zhuǎn)變，預(yù)計很快將應(yīng)用于市場。

                                                                                               昆山帕斯卡真空技術(shù)有限公司

                                                                                                     2017年12月10日