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光伏行業(yè)的真空應用(二)
光伏的鑄錠和拉晶和取得硅錠和硅棒的生產步驟,也是光伏行業(yè)的前道工藝。多晶的鑄錠和單晶的拉晶是目前光伏行業(yè)兩種不同的材料的生產方案。單晶和多晶也是一直以來不同廠商市場博弈和競爭的不同方向。在過去由于多晶的生產效率和成本均優(yōu)于單晶,所以大部分廠商都會生產多晶的太陽能硅片,雖然單晶的轉換效率高,由于生產效率低成本高被大部分廠商放棄,但是由于單晶生產設備和改進和提升,生產效率提升,成本降低,單晶產品逐步占據了市場的有利地位。
直拉法生產單晶,是采用真空工藝和氣氛工藝結合的生產方式,在直拉硅單晶過程中氧氣的滲入會影響硅晶的純度,所以要保持爐內的低真空度,一般要在100pa左右的工作真空度,通過抽真空減少爐內的氧氣含量。同時又需要連續(xù)等速向爐內通入惰性氣體,將高溫產生的硅氧化物和雜質通過氣流帶走,通入氣體時真空度維持在20torr左右。需要反復抽真空和通入氣體,這樣才能保證生產出質量可靠和純度高的單晶硅棒。
漢鐘干式螺桿真空泵近年來在光伏單晶爐的配套使用量巨大,漢鐘干式螺桿真空以氣耐粉塵能力、節(jié)能優(yōu)勢、耐大氣沖擊能力深的用戶的信賴。