●排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積

幹式螺旋真空泵相較於其他形式的真空泵，因氣體於泵浦內(nèi)的傳輸路徑最短，最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。此外，由於螺旋轉(zhuǎn)子在抽氣過程中本身已具傳輸粉塵之機(jī)構(gòu)，即使有反應(yīng)物沉積也能很順利的排出泵浦。

●線形密封性佳，泵浦性能最優(yōu)

專利轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達(dá)到更快的抽氣效果。由於嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。

●結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，維修容易

螺旋式真空泵因只需利用一對轉(zhuǎn)子互相嚙合達(dá)到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費(fèi)用。

●微電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全(選配)

微電腦操控器提供真空泵浦最簡易的操作方式並能顯示泵浦完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對泵浦應(yīng)用狀況進(jìn)行調(diào)整，在泵浦產(chǎn)生問題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)。遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場即能查詢泵浦之運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。

                                                                                                     昆山帕斯卡真空技術(shù)有限公司

                                                                                                           2017年11月19日