真空閥門

角閥的氣體通路呈90°，密封面采用氟膠圈密封方式，通過波紋管實現(xiàn)真空中的直線驅(qū)動。該閥門體積小、安裝方便，主要用于真空系統(tǒng)中的排氣管路連接，特別是和機械泵的連接。

  有時也需要能直接連在超高真空腔體上，用做氣體導(dǎo)入或差分抽排氣的CF法蘭角閥。能滿足這種功能的角閥是全金屬角閥，內(nèi)部密封面采用無氧銅和不銹鋼刀口的密封組合，可耐300℃以上的高溫烘烤。

  閥門示意圖