漢鐘干式螺桿真空泵在韓國ALD設(shè)備上的應(yīng)用

ALD原子層沉積，又稱原子層外延，是一種基于有序、表面自限制性反應(yīng)的化學(xué)氣相沉積薄膜的方法。

ALD要求，必需具有一定的飽和蒸汽壓、且在一定范圍內(nèi)具有熱穩(wěn)定性。最好是液態(tài)和氣態(tài)。必需在表面可化學(xué)吸收或者和表面物質(zhì)快速的發(fā)生反應(yīng)。無自分解狀況。可以提供原子層沉積反應(yīng)的激活能量。幫助清除單原子層形成過程中的多余反應(yīng)物和副產(chǎn)品。

目前漢鐘干式螺桿真空大量應(yīng)用于ALD設(shè)備，真空泵排粉塵能力優(yōu)于進(jìn)口的品牌的真空泵，真空泵保養(yǎng)間隔周期更長。產(chǎn)品穩(wěn)定性更好。

下圖是漢鐘干式在國內(nèi)大型電池片廠中實(shí)際應(yīng)用案例，應(yīng)用效果非常好。