臺灣漢鐘精機(jī)干式螺桿真空機(jī)組成功應(yīng)用于光伏行業(yè)ALD設(shè)備，大幅提升了ALD設(shè)備的運(yùn)行穩(wěn)定性。

太陽能行業(yè)PERC工藝大幅提升電池片對于光能的轉(zhuǎn)換率，新工藝受到市場的熱捧和良好反饋，通過PERC工藝的電池片市場供不應(yīng)求，于是國內(nèi)太陽能廠商紛紛導(dǎo)入PERC工藝，提升產(chǎn)品的競爭力。PERC工藝需要ALD設(shè)備對電池片進(jìn)行雙面鍍膜，和過去PECVD材料和工藝都有所不同。ALD工藝中氧化鋁材料會產(chǎn)生更多的粉塵，所以對設(shè)備的真空系統(tǒng)是很大的考驗(yàn)。除了真空泵前的粉塵捕集，對于真空泵的耐粉塵能力也是大大提升。PECVD設(shè)備傳統(tǒng)用多段羅茨干式真空泵組為主，由于PECVD工藝的粉塵量并不大，所以多段羅茨真空泵勉強(qiáng)可以使用，但是售后維修的保養(yǎng)也是較多，特別是經(jīng)常需要更換核心部件羅茨轉(zhuǎn)子。漢鐘精機(jī)螺桿真空機(jī)組是采用螺桿形式的真空泵，其耐粉塵能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于多段羅茨真空泵，除了常規(guī)的保養(yǎng)外，幾乎不用更換轉(zhuǎn)子，相比多段羅茨維護(hù)成本更低，穩(wěn)定性更好。

起初ALD廠商任然沿用PECVD的真空應(yīng)用，由于ALD粉塵量的增加，造成多段羅茨真空機(jī)組運(yùn)行時間很短，穩(wěn)定性不夠。終端用戶和設(shè)備商將真空系統(tǒng)更換成漢鐘干式螺桿機(jī)組，真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性大大提升。

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