太陽能光伏工藝-擴(kuò)散

擴(kuò)散的目的在于形成PN結(jié)。硅片含硼，是P型結(jié)物質(zhì)，需要往里面摻雜磷，使電子發(fā)生移動(dòng)，形成PN結(jié)空穴。所使用的介質(zhì)有POCL3，N2，O2。動(dòng)力源有壓縮空氣，氮?dú)猓に嚴(yán)鋮s水，熱排風(fēng)和有機(jī)排風(fēng)。使用的設(shè)備是高溫?cái)U(kuò)散爐，廠商有SVCS，TEMPRESS，長沙48所等。該道工藝有潔凈要求，需要在潔凈室內(nèi)運(yùn)行。因?yàn)閿U(kuò)散爐內(nèi)的石英管需要清洗，所以需要增加一種石英管清洗機(jī)。

擴(kuò)散后清洗的目的在于洗去擴(kuò)散時(shí)形成的磷硅玻璃，即SiO2和 P2O5的混合物，所以擴(kuò)散后清洗機(jī)又叫做去磷硅玻璃清洗機(jī)。動(dòng)力源有氮?dú)猓瑝嚎s空氣，純水，HF，熱排風(fēng)，酸排風(fēng)，廢水等。設(shè)備有深圳捷佳創(chuàng)。

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