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真空技術(shù)
太陽(yáng)能光伏工藝ALD 真空泵
2019-06-11
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太陽(yáng)能光伏工藝ALD 真空泵
ALD是原子層沉積薄膜鈍化技術(shù)，藝過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵量比較大，國(guó)內(nèi)和國(guó)際上做ALD設(shè)備的不多，設(shè)備需要在很短的時(shí)間把腔體抽到一定的真空度，所以真空泵選型很大，韓國(guó)NCD用的阿爾卡特3060，這款真空泵由于結(jié)構(gòu)問(wèn)題很容易卡機(jī)，維修保養(yǎng)費(fèi)用非常高，
漢鐘在ALD有一定豐富經(jīng)驗(yàn)，推出漢鐘PD3652延長(zhǎng)真空泵的使用壽命，延長(zhǎng)真空泵保養(yǎng)周期，得到客戶一致好評(píng)。
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