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真空技術(shù)
漢鐘半導(dǎo)體真空泵PMF系列
2020-12-14
點擊數(shù)：1315
漢鐘半導(dǎo)體真空泵PMF系列
電子及半導(dǎo)體行業(yè)正在革命性地改變著我們的生活，讓我們享受科技帶來的愉悅與舒適。真空設(shè)備在電子產(chǎn)品及半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)過程中發(fā)揮著極為重要的作用，針對特殊的生產(chǎn)要求必須選擇適合的真空設(shè)備。
半導(dǎo)體真空泵行業(yè)特點
半導(dǎo)體用真空泵對產(chǎn)品可靠性、定制化、能源效率要求較高。
1.可靠性：半導(dǎo)體用真空泵直接關(guān)系到芯片的性能、良率，對產(chǎn)品可靠性有較高要求，工作過程需要不斷保養(yǎng)，可靠性高的產(chǎn)品能減少維修次數(shù)，降低客戶使用成本。
2.定制化：在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，由于每條生產(chǎn)線工況都不相同，客戶對解決方案和產(chǎn)品的需求更加定制化。
3.能源效率：在Fab能源消耗中，真空產(chǎn)品占整個能源消耗的20%，提高能源效率能夠減少客戶的能源消耗。
漢鐘PMF系列特點：
l 最低的電能消耗
l 體積小，重量輕
l 節(jié)省安裝空間
l 半導(dǎo)體干凈制程的最佳選擇
技術(shù)參數(shù)
|
Model |
Unit |
PMF100 |
PMF120 |
PMF612 |
|
|
Pumping Speed |
L/min |
1666 |
1933 |
10000 |
|
|
m3/hr |
100 |
116 |
600 |
||
|
cfm |
59 |
69 |
353 |
||
|
Ultimate Pressure |
Torr |
≦7.5×10-3 |
≦7.5×10-3 |
≦7.5×10-4 |
|
|
mbar |
≦1×10-2 |
≦1×10-2 |
≦1×10-3 |
||
|
Motor |
Voltage |
V |
220V/380V |
220V/380V |
220V/380V |
|
Rated Power |
Kw |
2.2 |
2.2 |
2.2+2.2 |
|
|
Connection |
Inlet |
|
NW50 |
NW50 |
ISO80 |
|
Outlet |
|
NW25 |
NW25 |
NW40 |
|
|
Cooling Water Dim. |
Pressure |
kg/cm2 |
2.0-4.0(△P＞1kg/cm2) |
2.0-4.0(△P＞1kg/cm2) |
2.0-4.0(△P＞1kg/cm2) |
|
Min.Flow |
L/min |
1 |
1 |
1 |
|
|
Temp |
℃ |
20℃ 2 L/min～30℃ 5L/min |
20℃ 2 L/min～30℃ 5L/min |
20℃ 2 L/min～30℃ 5L/min |
|
|
Comection |
|
RC1/4" |
RC1/4" |
RC1/4" |
|
|
L×W×H |
mm |
450×230×275 |
450×230×275 |
530×230×520 |
|
|
Weight |
kg |
60 |
60 |
120 |
|
|
Nosice |
dB |
60 |
60 |
60 |
|
|
Ultimate Pressure Power |
Kw |
0.39 |
0.44 |
0.5 |
|
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