耐粉塵腐蝕真空泵

HANBELL DRY PUMP

干式螺桿真空泵單泵可達(dá)1pa,機(jī)組可達(dá)0.1pa。可適應(yīng)惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力，特別且易做防腐涂層處理。

                    高精密轉(zhuǎn)子                           內(nèi)部過流部分耐腐蝕涂層

泵浦抽速范圍最新80m3---4500m3，單泵最大800m3，機(jī)組最大4500立方，可任意選擇。

適用于半導(dǎo)體、光伏、冶金等嚴(yán)苛工藝、惡劣工況。

轉(zhuǎn)子和腔室單段結(jié)構(gòu)，有利粉塵排出，不會(huì)粉塵積壓導(dǎo)致卡機(jī)