漢鐘干式螺桿真空泵在等離子清洗設(shè)備中的真空應(yīng)用（一）

等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，物質(zhì)除了常見的固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三態(tài)，還有第四態(tài)，就是等離子體。如果對(duì)氣態(tài)物質(zhì)施加一定的能量就能使之成為等離子狀態(tài)。

在真空腔體中，通過射頻電源在一定壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，以達(dá)到清洗目的。

等離子清洗設(shè)備需要一套真空系統(tǒng)，只有真空系統(tǒng)內(nèi)真空度達(dá)到一定壓力時(shí)才能輝光放電。真空系統(tǒng)由真空泵、真空管道、真空閥門、真空腔體和真空計(jì)組成。

真空泵可以采用油泵和干泵，真空泵的極限真空度要低于1Pa較為理想，真空泵較好的極限真空度才能保證清洗腔體內(nèi)到達(dá)50Pa左右的工作壓力，電源在50Pa左右才能大量放電產(chǎn)生等離子體。真空管道采用不銹鋼焊接，管道和腔體之間安裝高真空擋板閥，用于控制真空的通斷。真空腔體可以采用不銹鋼焊接，或者鋁加工腔體，真空腔體采用內(nèi)焊，腔體真空漏率極小可<1x10-9Pa·L/s。