漢鐘干式螺桿真空泵在等離子清洗設(shè)備中的真空應(yīng)用（二）

真空等離子需要真空獲得較好的真空泵將真空腔體抽到pa級(jí)水平，通常會(huì)采用真空度較好的雙級(jí)油旋片真空泵和干式螺桿真空機(jī)組，等離子設(shè)備在第一次抽真空時(shí)需要將腔體中的氣體盡可能的抽完，殘留的氣體量越少越好，通常時(shí)抽到10Pa以?xún)?nèi)為最好。在腔體中通入氣體時(shí)，根據(jù)通入的氣體量和需要維持的真空度選用合適抽速的真空泵，如果真空泵抽速不夠，腔體內(nèi)很難維持工作需要的真空度。真空泵在維持腔體真空度的同時(shí)，需要將通入的工藝氣體和產(chǎn)品產(chǎn)生的雜質(zhì)抽走，所以要根據(jù)通入的氣體類(lèi)型選擇不同的真空泵，如果通入的氣體有腐蝕性，需要選用干泵，如果選用油泵真空泵油和真空泵內(nèi)部會(huì)被腐蝕掉。