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真空技術(shù)是建立低于大氣壓力的物理環(huán)境,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、物理測(cè)量和科學(xué)試驗(yàn)等所需的技術(shù)。
真空技術(shù)主要包括真空獲得、真空測(cè)量、真空檢漏和真空應(yīng)用四個(gè)方面。在真空技術(shù)發(fā)展中,這四個(gè)方面的技術(shù)是相互促進(jìn)的。
真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間,即每立方厘米空間中氣體分子數(shù)大約少于兩千五百億億個(gè)的給定空間。真空是相對(duì)于大氣壓來說的,并非空間沒有物質(zhì)存在。用現(xiàn)代抽氣方法獲得的低壓力,每立方厘米的空間里仍然會(huì)有數(shù)百個(gè)分子存在。
氣體稀薄程度是對(duì)真空的一種客觀量度 ,直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù)。氣體分子密度越小,氣體壓力越低,真空就越高。但由于歷史原因,量度真空通常都用壓力表示。1真空常用帕斯卡(Pascal)或托爾(Torr)做為壓力的單位。
在地球上,通常是對(duì)特定的封閉空間抽氣來獲得真空,用來抽氣的設(shè)備稱為真空泵。早先制成的真空泵,抽氣速度不大,極限真空低,很難滿足生產(chǎn)和科學(xué)試驗(yàn)的需要。
后來相繼制成一系列抽氣機(jī)理不同的真空泵,抽速和極限真空都得到不斷的提高。如低溫泵的抽氣速率可達(dá)60000升/秒,極限真空可達(dá)千億分之一帕數(shù)量級(jí)。
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